2024年3月16日发(作者：暴修洁)
光学与电子信息 学院集成电路工程领域、软件工程领域学位硕士研
究生课程简介
课程代码：
182.573
■专业课程 □其它：
课程名称：微纳尺度制造工程
课程类型：□公共课 □专业必修课
考核方式： 考试
适用领域：电子科学与技术
开课学期： 秋季 总学时：
32
教学方式：讲授
学分：
2
先修课程要求：光电子学原理与应用；大学物理；固体物理
课程组教师姓
名
范桂芬
职称
专业
年龄 学术方向
副教授
微电子学与
固体电子学
39
信息功能材料与器件
课程负责教师教育经历及学术成就简介：
教育经历：
•
•
•
•
1993-1997:
湖北大学，化学系， 本科
/
理学学士
2002-2007:
华中科技大学，电子科学与技术系，研究生
/
工学博士
2007-2009:
华中科技大学，材料科学与工程学院博士后流动站，博士后
2009-
至今：华中科技大学，电子科学与技术系，教师
学术成就：
目前主要从事铁电压电陶瓷材料及器件研究。近年来主持完成了湖北省自然
科学基金 压电滤波器无铅化环保材料铌酸钾钠陶瓷的研究(
2008CDB283
)”、
中国博士后科学基金 手机镜头驱动叠层微型压电马达陶瓷模块的研究
(
2
) ”、教育部博士点基金新教师类 铋基无铅压电陶瓷场致应变特
理想
0-3
型多铁复合材 性的研究
(21)
”华中科技大学自主创新项目
料制备及物性研究
(
2010MS006)”
等项目的研究工作。目前已经在国内外重要学术 干刊物
《
Applied Physics Letters
》、《
Journal of Alloys and Compounds
》、《
Journal of Physics
D: Applied Physics
》、
《
Japanese Journal of Applied Physics
》、
《
Journal of Material
Science
》及《无机材料学报》等发表学术论文
20
余篇。
课程教学目标：
微纳加工是应用广泛、发展迅速的一门多学科交叉的新型学科，它的应用 领域涵盖了
集成电路、集成光学、微光机电系统、微传感、以及介观与量子效应 器件等多个科学技术领
域。本课程主要讲授微米和纳米微细加工技术、微细结构 的分析和表征技术以及微纳加工的
应用，使学生对微纳加工技术的基本理论、微 纳制造和微细结构的应用有深入的了解。本课
程的主要任务是培养学生：
1
•了解微纳加工技术的发展过程和发展趋势
2.
掌握微细结构的各种加工技术和原理
3
•掌握微纳加工技术的应用领域及相关的测量技术 课程大纲：（章节目录）
本课程的主要章节有：
第一章绪论
首先介绍微纳加工技术的意义、应用领域以及未来的发展趋势。
第二章 微纳加工的基础知识
主要介绍
（共
4
学时）
（共
4
学时）
1
） 光波与光子：电磁波谱，衍射，光学相干性，波动光学聚焦成像理论，产生 控制短波长
的极紫外线和
X
射线光子的方法；
2
） 电子与电子束：电子发射，电子枪，电子束聚焦、成像和偏转；
3
） 气体放电与等离子体：气体放电，等离子体，等离子体的化学性质；
4
） 光子、电子和离子与固体物质的相互作用；
5
） 真空科学基本知识
（共
4
学时）
曝光光刻,
主要有半导体材料、介电材料、玻璃和聚合物材料及其它特殊微细结构相关材料
第三章 微纳加工的主要衬底材料
第四章微纳加工技术 （共
10
学时）
1
）微纳图形技术：主要有微纳图形的掩膜制备，微纳图形的形成
2024年3月16日发(作者：暴修洁)
光学与电子信息 学院集成电路工程领域、软件工程领域学位硕士研
究生课程简介
课程代码：
182.573
■专业课程 □其它：
课程名称：微纳尺度制造工程
课程类型：□公共课 □专业必修课
考核方式： 考试
适用领域：电子科学与技术
开课学期： 秋季 总学时：
32
教学方式：讲授
学分：
2
先修课程要求：光电子学原理与应用；大学物理；固体物理
课程组教师姓
名
范桂芬
职称
专业
年龄 学术方向
副教授
微电子学与
固体电子学
39
信息功能材料与器件
课程负责教师教育经历及学术成就简介：
教育经历：
•
•
•
•
1993-1997:
湖北大学，化学系， 本科
/
理学学士
2002-2007:
华中科技大学，电子科学与技术系，研究生
/
工学博士
2007-2009:
华中科技大学，材料科学与工程学院博士后流动站，博士后
2009-
至今：华中科技大学，电子科学与技术系，教师
学术成就：
目前主要从事铁电压电陶瓷材料及器件研究。近年来主持完成了湖北省自然
科学基金 压电滤波器无铅化环保材料铌酸钾钠陶瓷的研究(
2008CDB283
)”、
中国博士后科学基金 手机镜头驱动叠层微型压电马达陶瓷模块的研究
(
2
) ”、教育部博士点基金新教师类 铋基无铅压电陶瓷场致应变特
理想
0-3
型多铁复合材 性的研究
(21)
”华中科技大学自主创新项目
料制备及物性研究
(
2010MS006)”
等项目的研究工作。目前已经在国内外重要学术 干刊物
《
Applied Physics Letters
》、《
Journal of Alloys and Compounds
》、《
Journal of Physics
D: Applied Physics
》、
《
Japanese Journal of Applied Physics
》、
《
Journal of Material
Science
》及《无机材料学报》等发表学术论文
20
余篇。
课程教学目标：
微纳加工是应用广泛、发展迅速的一门多学科交叉的新型学科，它的应用 领域涵盖了
集成电路、集成光学、微光机电系统、微传感、以及介观与量子效应 器件等多个科学技术领
域。本课程主要讲授微米和纳米微细加工技术、微细结构 的分析和表征技术以及微纳加工的
应用，使学生对微纳加工技术的基本理论、微 纳制造和微细结构的应用有深入的了解。本课
程的主要任务是培养学生：
1
•了解微纳加工技术的发展过程和发展趋势
2.
掌握微细结构的各种加工技术和原理
3
•掌握微纳加工技术的应用领域及相关的测量技术 课程大纲：（章节目录）
本课程的主要章节有：
第一章绪论
首先介绍微纳加工技术的意义、应用领域以及未来的发展趋势。
第二章 微纳加工的基础知识
主要介绍
（共
4
学时）
（共
4
学时）
1
） 光波与光子：电磁波谱，衍射，光学相干性，波动光学聚焦成像理论，产生 控制短波长
的极紫外线和
X
射线光子的方法；
2
） 电子与电子束：电子发射，电子枪，电子束聚焦、成像和偏转；
3
） 气体放电与等离子体：气体放电，等离子体，等离子体的化学性质；
4
） 光子、电子和离子与固体物质的相互作用；
5
） 真空科学基本知识
（共
4
学时）
曝光光刻,
主要有半导体材料、介电材料、玻璃和聚合物材料及其它特殊微细结构相关材料
第三章 微纳加工的主要衬底材料
第四章微纳加工技术 （共
10
学时）
1
）微纳图形技术：主要有微纳图形的掩膜制备，微纳图形的形成