2024年5月28日发(作者：邬文康)

光学扫描振镜原理

振镜是一种优良的矢量扫描器件。它是一种特殊的摆动电机 ,基本原理是通电线圈在

磁场中产生力矩 ,但与旋转电机不同 ,其转子上通过机械纽簧或电子的方法加有复位力矩 ,

大小与转子偏离平衡位置的角度成正比 ,当线圈通以一定的电流而转子发生偏转到一定的

角度时 ,电磁力矩与回复力矩大小相等 ,故不能象普通电机一样旋转 ,只能偏转 ,偏转角与

电流成正比 ,与电流计一样 ,故振镜又叫电流计扫描振镜(galvanomet ric scanner) 。

扫描振镜其专业名词叫做高速扫描振镜Galvo scanning system。所谓振镜，又可以

称之为电流表计，它的设计思路完全沿袭电流表的设计方法，镜片取代了表针，而探头的

信号由计算机控制的-5V—5V 或-10V－+10V 的直流信号取代，以完成预定的动作。同

转镜式扫描系统相同，这种典型的控制系统采用了一对折返镜，不同的是，驱动这套镜片

的步进电机被伺服电机所取代，在这套控制系统中，位置传感器的使用和负反馈回路的设

计思路进一步保证了系统的精度，整个系统的扫描速度和重复定位精度达到一个新的水平。

扫描振镜技术参数

1.高速扫描振镜伺服驱动板参数说明:

1.1电源电压 ±24V，最大±30V

1.2模拟信号输入阻抗 100K±1%Ω

1.3位置信号输出阻抗 1K±1%Ω

1.4模拟位置信号输入范围 ±5V

1.5位置信号输入比例系数 0.5V/°

1.6位置信号输出比例系数 0.5V/°

1.7 工作温度 0℃～40℃

1.8伺服控制板尺寸 长：96mm 宽：67mm 高：37mm

8720高速扫描振镜马达的电气与机械特性:

2.1小步长阶跃响应时间 0.7ms

2.2线性度 99.9%，范围±20°

2.3比例漂移 最大40PPM/℃

2.4零漂移 最大10μRad

2.5重复精度 8μRad

2.6平均工作电流 2A

2.7峰值电流 15A

2.8带载镜片 20mm光斑以下

2.9最大扫描角度（机械角） ±20°

2.10工作温度 0℃～40℃

2024年5月28日发(作者：邬文康)

光学扫描振镜原理

振镜是一种优良的矢量扫描器件。它是一种特殊的摆动电机 ,基本原理是通电线圈在

磁场中产生力矩 ,但与旋转电机不同 ,其转子上通过机械纽簧或电子的方法加有复位力矩 ,

大小与转子偏离平衡位置的角度成正比 ,当线圈通以一定的电流而转子发生偏转到一定的

角度时 ,电磁力矩与回复力矩大小相等 ,故不能象普通电机一样旋转 ,只能偏转 ,偏转角与

电流成正比 ,与电流计一样 ,故振镜又叫电流计扫描振镜(galvanomet ric scanner) 。

扫描振镜其专业名词叫做高速扫描振镜Galvo scanning system。所谓振镜，又可以

称之为电流表计，它的设计思路完全沿袭电流表的设计方法，镜片取代了表针，而探头的

信号由计算机控制的-5V—5V 或-10V－+10V 的直流信号取代，以完成预定的动作。同

转镜式扫描系统相同，这种典型的控制系统采用了一对折返镜，不同的是，驱动这套镜片

的步进电机被伺服电机所取代，在这套控制系统中，位置传感器的使用和负反馈回路的设

计思路进一步保证了系统的精度，整个系统的扫描速度和重复定位精度达到一个新的水平。

扫描振镜技术参数

1.高速扫描振镜伺服驱动板参数说明:

1.1电源电压 ±24V，最大±30V

1.2模拟信号输入阻抗 100K±1%Ω

1.3位置信号输出阻抗 1K±1%Ω

1.4模拟位置信号输入范围 ±5V

1.5位置信号输入比例系数 0.5V/°

1.6位置信号输出比例系数 0.5V/°

1.7 工作温度 0℃～40℃

1.8伺服控制板尺寸 长：96mm 宽：67mm 高：37mm

8720高速扫描振镜马达的电气与机械特性:

2.1小步长阶跃响应时间 0.7ms

2.2线性度 99.9%，范围±20°

2.3比例漂移 最大40PPM/℃

2.4零漂移 最大10μRad

2.5重复精度 8μRad

2.6平均工作电流 2A

2.7峰值电流 15A

2.8带载镜片 20mm光斑以下

2.9最大扫描角度（机械角） ±20°

2.10工作温度 0℃～40℃